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Diener 等离子表面处理仪 NANO

简要描述：Diener 等离子表面处理仪 NANO特点
· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式，实现控制高机能

· 中型尺寸腔体可处理多种样品

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

产品目录

PRODUCT CENTER

详细介绍

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	医疗卫生,环保,生物产业,农林牧渔

Diener 等离子表面处理仪 NANO特点

· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式，实现控制高机能

· 中型尺寸腔体可处理多种样品

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

型号		NANO		NANO PCCE
控制系统		手动控制		PCCE 控制系统
工艺气路		双路或三路气体
工艺气体		O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体
单体导入		H2O，亲疏水涂层等单体（选配）
流量计		针阀流量计（防腐蚀）		MFC流量计（防腐蚀）
真空腔体	材质	高硼硅玻璃/石英盖子门/铰链门带观察窗	不锈钢盖子门/铰链门带观察窗		铝合金腔体铰链门
	圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm	240×400(600) *1	267×420（600）*1mm		—
	方形腔体内尺寸（W×D×H）mm	—	240×420（600）*1×240mm		240×420（600）*1×240
	容积	18L~27L	24L~34L		24L~34L
电极		360度外置环绕电极	平行平板电极
发生器*		100 kHz 0-500W 80 kHz 0-1000W 13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W 2.45 GHz 0-600W
真空压力计		指针式压力计		皮拉尼数字式压力计
计时器		模拟数字式		数字式
托盘		高硼硅玻璃（石英选配），不锈钢
外形尺寸（WXDxH）mm		560x600-750x600-860mm
电源		AC220V 50Hz 10A
真空泵		排气速度不小于16m3/H

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