一、日常維護保養（每日/每周執行）

 

日常維護的核心是及時清潔、排查小故障，避免問題積累導致設備損壞。

 

腔體清潔：每次使用完畢后，待腔體冷卻至室溫，打開腔體門，用無塵布蘸取無水乙醇或異丙醇，擦拭腔體內壁、電極、樣品臺等部位，去除殘留的污染物（如光刻膠、有機物殘渣）。若污染物頑固，可使用專用等離子清洗劑配合超聲波清洗，嚴禁使用砂紙、鋼絲球等硬物刮擦，以免損傷腔體和電極表面的氧化層。清潔后，打開腔體門通風10-15分鐘，確保腔體無溶劑殘留。

 

密封件檢查與清潔：檢查腔體門密封圈、法蘭密封圈等密封部件，查看是否有破損、變形、老化現象，若有輕微污漬，用無塵布蘸取無水乙醇擦拭干凈；若密封圈出現裂紋、硬化，需及時更換，否則會導致真空度下降，影響等離子體生成。每周在密封圈表面均勻涂抹一層薄薄的真空硅脂，增強密封性，同時防止密封圈老化。

 

氣路系統檢查：檢查氣體管路、接頭、閥門等部位，查看是否有氣體泄漏，可使用肥皂水涂抹在接頭處，觀察是否有氣泡產生，若有泄漏，及時擰緊接頭或更換密封墊。每周清潔氣體過濾器的濾網，去除灰塵和雜質，避免堵塞導致氣體流量不穩定。

 

電氣系統外觀檢查：檢查設備的電源線、信號線、接地線等，查看是否有破損、老化、松動現象，若有，及時更換或緊固；檢查散熱風扇是否正常運轉，確保設備散熱良好，避免因過熱導致電子元件損壞。

 

二、定期維護保養（每月/每季度/每年執行）

 

定期維護需針對核心部件進行深度檢查和維護，確保設備性能穩定。

 

1.每月維護

 

真空系統保養：清潔真空泵進氣口的過濾網，去除灰塵和雜質；檢查真空泵油位，確保油位在油標刻度線之間，若油位過低，及時補充同型號真空泵油；觀察真空泵油的顏色，若油色發黑、渾濁，需及時更換真空泵油，更換時需將舊油完全排出，加入新油后，啟動真空泵空載運行5-10分鐘，確保新油循環均勻。

 

電極維護：檢查電極的平整度和清潔度，若電極表面有氧化層或積碳，用無水乙醇擦拭干凈；對于射頻等離子清洗機，檢查電極與射頻電源的連接是否牢固，避免接觸不良導致等離子體不穩定。

 

氣體流量校準：使用標準流量計校準設備的氣體流量控制器，確保氣體流量誤差在±5%以內，若誤差超出范圍，調整流量控制器的參數或更換傳感器。

 

2.每季度維護

 

腔體與電極深度清潔：將腔體和電極拆卸下來，放入專用清洗槽中，用等離子清洗劑浸泡30分鐘，然后進行超聲波清洗，去除深層的污染物和氧化層；清洗后用去離子水沖洗干凈，放入烘箱中烘干（溫度80-100℃，時間2-3小時），確保完全干燥后再安裝回設備。

 

真空規校準：使用標準真空規校準設備的真空規，確保真空度測量誤差在±10%以內，若誤差超出范圍，調整真空規的參數或更換真空規。

 

射頻電源維護：對于射頻等離子清洗機，檢查射頻電源的輸出功率、頻率等參數，確保符合設備要求；清潔射頻電源的散熱片，去除灰塵，避免散熱不良導致功率下降。

 

3.每年維護

 

真空泵深度保養：將真空泵拆卸下來，清潔泵體內部的轉子、葉片、泵腔等部位，去除積碳和雜質；檢查轉子、葉片的磨損情況，若磨損嚴重，及時更換；更換真空泵的密封墊和軸承，確保真空泵的密封性和運轉穩定性。保養完成后，對真空泵進行性能測試，確保真空度達到設備要求。

 

等離子發生系統檢修：檢查射頻電源、微波電源等等離子發生部件的內部元件，查看是否有電容鼓包、電阻燒毀等現象，若有，及時更換；測試等離子體的均勻性，通過在腔體不同位置放置樣品，觀察處理效果的一致性，若均勻性差，調整電極間距或功率參數。

 

電氣系統全面檢查：由專業電工對設備的電氣系統進行全面檢查，包括控制柜內的接觸器、繼電器、變頻器等元件，測試絕緣電阻和接地電阻，確保符合安全標準；校準設備的溫度控制器、定時器等控制元件，確保控制精度符合要求。

 

三、特殊維護保養（針對異常情況）

 

當設備出現故障或異常時，需及時進行針對性維護，避免故障擴大。

 

真空度下降：若設備抽真空時間過長或無法達到設定真空度，首先檢查密封件是否老化、破損，管路是否泄漏；若排除以上問題，檢查真空泵是否故障，如泵油不足、葉片磨損等，及時進行相應維護。

 

等離子體不穩定：若等離子體顏色異常、閃爍或無法點燃，首先檢查氣體流量是否穩定，氣體純度是否符合要求；然后檢查電極是否清潔、連接是否牢固；最后檢查射頻/微波電源的輸出參數是否正常，若參數異常，調整或維修電源。

 

設備報警停機：根據設備的報警代碼，查找故障原因，如真空度過低報警，檢查真空系統；過溫報警，檢查散熱系統；過載報警，檢查電氣系統。故障排除后，需進行試運行，確保設備恢復正常。

 

四、維護保養的注意事項

 

安全操作：維護保養前，必須切斷設備的電源和氣源，等待設備完全冷卻后再進行操作；拆卸和安裝部件時，使用專用工具，避免損壞精密部件；接觸真空泵油、有機溶劑等物質時，佩戴手套、護目鏡等防護用品，確保人身安全。

 

配件選型：更換配件時，必須使用原廠配件或符合設備規格的合格產品，如真空泵油、密封圈、電極等，避免因配件不匹配導致設備性能下降或損壞。

 

環境控制：設備應放置在室溫（15-30℃）、濕度（40%-60%）、無粉塵、無腐蝕性氣體的環境中，避免陽光直射和劇烈振動，環境溫度過高或濕度過大會加速電子元件和密封件的老化。

 

操作人員培訓：維護保養人員需經過專業培訓，熟悉設備的結構、原理和操作流程，避免因操作不當導致設備損壞。

 

維護記錄存檔：建立設備維護保養檔案，詳細記錄每次維護的時間、內容、更換的配件、設備運行狀態等信息，便于追溯設備的使用情況和故障歷史，為后續維護提供參考。